依據(jù)氣流的活動(dòng)狀況分,首要有以下三種氣流散布的潔凈室[1] :
(1) 非單向流潔凈室:曾經(jīng)常稱(chēng)為亂流型潔凈室,室內(nèi)的氣流并不都按單一方向活動(dòng)。非單向流潔凈室有幾個(gè)一起的特色:終端過(guò)濾器(高效或亞高效)盡量挨近潔凈室,它能夠就是送風(fēng)口或直連續(xù)送風(fēng)口,也能夠接到房間的送風(fēng)靜壓箱上;回風(fēng)口均設(shè)在潔凈室的下部,意圖是防止呈現(xiàn)“揚(yáng)灰”現(xiàn)象。非單向流潔凈室中都有渦流存在,不適宜用于高潔凈度的潔凈室中,宜用于6~9級(jí)的潔凈室中。
(2) 單向流潔凈室:?jiǎn)蜗蛄鳚崈羰覛饬鞯奶卣魇橇骶€平行,以單一方向活動(dòng),并且在斷截面上風(fēng)速一致,有筆直單向潔凈室,準(zhǔn)筆直單向流,水平單向流潔凈室等。
(3) 矢量潔凈室:在房間的側(cè)上角送風(fēng),選用扇形高效過(guò)濾器,也能夠用一般高效過(guò)濾器配扇形送風(fēng)口,在另一側(cè)的下部設(shè)回風(fēng)口,房間的高長(zhǎng)比一般在0.5~1之間為宜。這種潔凈室也能夠到達(dá)5級(jí)(100級(jí))潔凈度。
潔凈室的流型基本上是上述三種類(lèi)型,但是實(shí)踐運(yùn)用時(shí)可演變出許多形式。潔凈室能夠是單向流和非單向流組合在一起的混合流型,以在部分區(qū)域(單向流部分)完成高級(jí)別的潔凈室。例如,在潔凈室中設(shè)水平單向流的“地道”(一側(cè)打開(kāi)),潔凈室的其余部分是渦流的單向流流型,然后完成“地道”部分到達(dá)5級(jí)以上潔凈度,作業(yè)臺(tái)就設(shè)在“地道內(nèi)”。
按受控粒子的性質(zhì)區(qū)分
(1)工業(yè)潔凈室:受控粒子為塵土等非生物粒子的潔凈室。
(2)生物潔凈室:受控粒子為生物粒子的潔凈室。